微型电子机械系统相关论文
提出一种带有杠杆机构的电容检测微型加速度计.通过外来加速度使质量块经杠杆将力放大施加到弹性梁上产生位移、改变检测电容间距......
微机械在美国被称为微型电子机械系统(MEMS)，在日本被称为微机器，在欧洲被称为微系统。按外形尺寸特征，微机械可分成1～10mm的微小型机......
总结了目前在单晶硅表面构建的几类典型的分子自组装膜,并着重介绍了近十几年里各类自组装膜在摩擦学性能研究方面所取得的进展。......
