微机械振动相关论文
由多人传感单元构成的硅微机械阵列频谱传感器是一种新型器个。该器件利用了传感器固有频率附近一段频带具有最高的信号传感灵敏度......
介绍了静电驱动，电容检测的微机械振动轮式陀螺仪样机的结构，加工工艺，工作原理，驱动与检测电路以及实验结果；给出了检测电路的分辨率；得......
本文提出了根据微机械振动陀螺仪与电子隧道传感器相结合的设想，介绍了该型陀螺仪的工作原理，推导了陀螺仪的运动方程，从理论上阐述了......
