微细图形相关论文
YBa2Cu3O7-8(YBCO)超导薄膜具有优异的电学性能,用其制作的电子器件在液氮温区具有超高灵敏度、低功耗、强抗干扰能力等优点。随着......
YBCO高温超导薄膜及其相关器件的应用领域广阔,潜在经济价值高,尤其是其拥有较高的临界电流密度(J_c>1 MA/cm~2,0T),被认为是强电......
学位
BST薄膜由于具有良好的铁电、介电、热释电效应及无铅绿色环保性，在动态随机存储器DRAM、非挥发性存储器FeRAM、非制冷红外传感器UF......
氧化铪(HfO2)薄膜具有优异的抗激光性能，随着近年来高功率激光器的发展被越来越多的研究者所关注。本实验采用感光溶胶-凝胶法结合......
采用溶胶-凝胶与化学修饰相结合的方法制备了ZrO2 SiO2系薄膜.研究了这种凝胶薄膜的FT-IR光谱特性及随紫外线照射时的变化.发现在1......
该装置利用激光直接投影加工方法达到蚀刻处理的极限，实现了线与空间小于20μm的下一代基板的标准。利用以往一半的基板，采用附加工......
介绍了一种功能薄膜微细图形制备新方法-化学修饰溶胶-凝胶法.该方法的特点是在溶胶-凝胶制膜过程中引入化学修饰法,从而赋予薄膜......
以硅为代表的半导体的微细加工技术已达到了亚微米甚至纳米级的水平,而沿用半导体微细加工技术的功能薄膜的微细加工则远达不到这......
采用化学修饰溶胶凝胶工艺,以PVP为薄膜开裂抑制剂,以苯酰丙酮为化学修饰剂,利用其与金属盐形成的配位螯合物结构,合成了具有紫外......
以醋酸镍为原料，乙二醇甲醚为溶剂，苯酰丙酮为化学修饰剂，采用溶胶-凝胶法与化学修饰法相结合的方法制备感光性氧化镍基溶胶及凝胶膜，......
采用改进的化学修饰的溶胶-凝胶工艺,以聚乙烯吡咯烷酮（PVP）为薄膜开裂抑制剂,以乙酰丙酮为化学修饰剂,利用乙酰丙酮可以与金属盐形......
以甲醇为溶剂,以醋酸铜、醋酸钇和醋酸钡为起始原料,二乙烯三胺、三氟乙酸、丙烯酸为添加剂,采用溶胶-凝胶法制备了具有紫外感光性......
应用基于原子力显微镜与铁电分析仪联用的方法，在无顶电极的情况下，直接测试了PZT微阵列格点的电滞回线。结果表明，应用铁电分析仪与......
以苯酰丙酮[BzAc]作为化学修饰剂，采用溶胶一凝胶法合成了含铜的螯合物，研究了含铜螯合物的紫外、红外光谱特性。发现在330nm处有与......
高温超导薄膜具有良好的物理性能，其微细图形在微电子器件中有非常广泛的应用。概述了高温超导薄膜微细图形的制备工艺及研究进展，重......
高温超导异质结可用于超导电子元器件的制备,在超导电子学领域具有广阔的应用前景。采用溶胶-凝胶法将 Bi2Sr2CaCu2O8+δ(Bi-2212)......
锆钛酸铅(PZT)、锆钛酸铅镧(PLZT)、钛酸锶钡(BST)等铁电薄膜由于具有铁电、压电、热释电等效应,在非挥发性存储器、非制冷红外焦......
提出一种利用感光溶胶-凝胶法结合紫外光刻技术制备Al2O3微细图形的方法。以Al（O-SecBu）3为前驱物,β-二酮类配体H（C10H12O2）为化学修......
以甲醇为溶剂,二乙烯三胺为络合剂,醋酸钇为前驱物,采用溶胶-凝胶与化学修饰相结合的方法制备了含钇螯合物凝胶薄膜.研究了这种凝......
以甲醇为溶剂,硝酸氧锆、硝酸钇为前驱物,采用溶胶-凝胶方法,通过引入化学修饰剂乙酰丙酮(AcAcH),使乙酰丙酮和锆离子形成螯合物,......
钇钡铜氧(YBCO)超导薄膜因具有优良的性能而得到广泛的关注和应用,在高温超导滤波器、红外探测器、THz天线等领域有非常重要的应用......
随着光纤通信和集成光学的发展，硅基光波导成为光纤通信与光电子学领域研究和应用的热点。光波导器件的开发需要光波导薄膜材料的研......
采用化学修饰的溶胶凝胶工艺，制备了具有紫外光感应特性的钛酸锶钡（Ba0.8Sr0.2TiO3）溶胶及其凝胶薄膜．提出了钛酸锶钡薄膜微细加工的新......
