掺杂能量相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

掺杂能量相关论文

多晶硅薄膜应力特性研究

本文报道了低压化学气相淀积（ＬＰＣＶＤ）制备的多晶硅薄膜内应力与制备条件、退火温度和时间及掺杂浓度关系的实验研究结果，用ＸＲＤ、ＲＥＤ等技术测量分析......

期刊

多晶硅薄膜淀积退火温度硅膜应力特性微机电系统备中微结构晶粒尺寸掺杂能量

离子注入对插入损耗和隔离度影响的研究

基于一个典型的0.13μm绝缘体上硅,射频开关电路工艺流程,分析了离子掺杂工艺流程对射频开关导通电阻R（on）和关断电容C（off）的影响。通......

期刊

SOI 射频开关插入损耗隔离度掺杂能量剂量

看过本文同时还关注