敏感层相关论文
依托半导体生产线开发了基于MEMS微桥结构的微测辐射热计(Micro-Bolometer)器件,其中:使用化学气相沉积(CVD)技术开发了非晶硅(α-Si)薄膜......
随着全球科技的飞速发展和医疗水平的进步,人类的平均寿命大大提高,我国将无可避免地迈入老龄化社会。疾病的早期诊断和实时的健康监......
高温应变传感器是监测高温环境中被测试件应变的微型传感器。目前可用的高温薄膜应变传感器多数采用金属材料作为敏感材料,这极大......
近年来黄光激光器在军事、民用、医疗等方面的应用日益广泛,因而对激光器中腔面膜的研究就显得尤为重要。本文针对黄光激光器使用要......
在图10中,与E分量有关的量子效率和平均内部强度Φ_(in)是利用MTL模型在同样的p、t_a和t_g(但侧面角为48°)条件下计算出来的,波纹......
当利用微悬臂梁动态模式的基频谐振在液体环境检测微弱被测量时,液体中的流体动力阻尼导致检测灵敏度降低。针对此问题,提出了利用......
自从Clark和Lyons在1962年研制出第一个生物传感器以来,探测各种生物和化学分子的生化传感器相继问世.这类传感器的基本原理是通过......
通过分析薄膜共振频率的影响因素,将一种具有正负磁致伸缩性能的复合薄膜应用到乙酸气体的检测中。在介绍该气体传感器检测原理的基......
针对微悬臂梁动态检测方式无法应用于液体环境,提出了一种利用微悬臂梁的高次谐振进行微小质量检测的方法。对于相同的被测量质量......