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依托半导体生产线开发了基于MEMS微桥结构的微测辐射热计（Micro-Bolometer）器件，其中：使用化学气相沉积（CVD）技术开发了非晶硅（α-Si）薄膜......
随着全球科技的飞速发展和医疗水平的进步，人类的平均寿命大大提高，我国将无可避免地迈入老龄化社会。疾病的早期诊断和实时的健康监......
以环氧树脂作为基体,将预浸料连续碳纤维带制成有局部叠层和无叠层的敏感层。将其敷设于构件表面,采用轴向拉伸循环的加载方式研究......
苏州规划区湖相及湖沼相沉积中存在一种性质较为特殊的淤泥质黏土，其亲水性黏土矿物含量和液塑限指标均较高，但在天然状态下虽具......
本文基于WO3/ZnO/Si三层模型，用传递矩阵法模拟WO3敏感层电导率变化所引起的传感器中心频率的变化情况，即电导率灵敏度，证明在吸附被......
NiCo薄膜具有比NiFe更高的AMR值，体材料时可达6％以上，在30nm时其AMR可达3.8％，具有更宽的磁场工作范围，因此其应用前景也非常广阔。本文选......
以Si为衬底利用射频溅射和平面工艺技术制作Pt膜电极（加热器），再涂以SnO敏感层，制成平面热线式气敏元件。对制作工艺条件及元件的气敏......
近年来黄光激光器在军事、民用、医疗等方面的应用日益广泛，因而对激光器中腔面膜的研究就显得尤为重要。本文针对黄光激光器使用要......
本课题是在国家自然科学基金资助项目“基于核安全壳应力监测的复合敏感层传感机理及其成像”(项目编号50878169)的资助下,以结构......
在图10中,与E分量有关的量子效率和平均内部强度Φ_(in)是利用MTL模型在同样的p、t_a和t_g(但侧面角为48°)条件下计算出来的,波纹......
当利用微悬臂梁动态模式的基频谐振在液体环境检测微弱被测量时,液体中的流体动力阻尼导致检测灵敏度降低。针对此问题,提出了利用......
自从Clark和Lyons在1962年研制出第一个生物传感器以来,探测各种生物和化学分子的生化传感器相继问世.这类传感器的基本原理是通过......
通过分析薄膜共振频率的影响因素，将一种具有正负磁致伸缩性能的复合薄膜应用到乙酸气体的检测中。在介绍该气体传感器检测原理的基......
1994年是中国经济改革向纵深发展的关键性一年,社会敏感层——青年层能否风平浪静地渡过?杨涧华撰文指出,1994年青年社会问题的敏......
针对微悬臂梁动态检测方式无法应用于液体环境,提出了一种利用微悬臂梁的高次谐振进行微小质量检测的方法。对于相同的被测量质量......
