氟碳薄膜相关论文
氟碳薄膜是一种很有应用前景的集成电路用介质材料，其低的介电常数和较好的热稳定性使它可以取代传统的SiO_2作为致密、高速集成电......
氟碳(FC)薄膜由于具有较低的介电常数(可达2.0±0.1)、良好的热稳定性、粘附性,较低的表面能、折射率低等特性,已经引起了工业界的......
长程表面等离子体共振传感器(LRSPR)中的衰逝波具有更强的电磁场强度,更长的传播距离,以及更深的穿透深度。因此,相对于传统的表面......
长程表面等离子体共振（LRSPR）是超薄金属膜两侧的衰逝场发生耦合后所形成的一种新型表面光学现象.与传统的表面等离子体共振（cSPR）相比......
用磁控溅射法在涤纶（PET）织物上制备纳米氟碳薄膜,研究了磁控溅射过程中不同PET织物布样、溅射功率、工作气压和基底温度对薄膜性能......
