液态源扩散相关论文
一、前言 SiO_2乳胶扩散源的出现,开辟了氧化扩散工艺的新领域,由于它具有一般固态,液态源扩散所没有的一系列优点,可以它的出现......
我们在生产XFC-80双运算放大器,和F010低功耗运算放大器时,隔离预淀积开始用液态源扩散,经常出现R_口偏大,饱和时间长,尤其是在盛......
近几年来,乳胶扩散逐步为人们所重视。由于它具有一系列优点而日益广泛地被应用于半导体器件生产工艺中。本文着重叙述在功率晶体......
