扩散炉相关论文
针对国内半导体行业的现状，确定以半导体生产企业的扩散炉温度控制系统为研究对象。根据传统的扩散炉温度控制多采用常规温度控制仪......
真实的气体质量流量可以用代塞尔(Desset)公司的台特曼脱利克(Datemetric)分部所开发的新型传感器系列来测量。这类传感器对气体......
我们在生产XFC-80双运算放大器,和F010低功耗运算放大器时,隔离预淀积开始用液态源扩散,经常出现R_口偏大,饱和时间长,尤其是在盛......
到目前为止,极大多数的分立元件和集成电路的制造都是采用液态三溴化硼或者汽态乙硼烷作为硅热扩散的 P 型扩散源。这两种方法都......
本文主要介绍Y-Ba-Cu-O系组分为YBa_2Cu_3O_(6.5)零电阻温度在91.2K超导体的制备工艺及其样品的电阻、磁化率随温度变化的特征。通......
近年来太阳能薄膜电池的制造和应用得到了高速发展,其中铜铟镓硒(CIGS)太阳能电池具有成本低、性能稳定、抗辐射能力强、高吸收效......
国内企业的篷勃发展,与近几年的国家持续支持密不可分。“十五”期间,国家科技部、发改委、工信部、财政部重点支持了光刻机、刻蚀......
针对半导体行业高温氧化扩散炉设备设计、实现了一套炉温控制软硬件系统。硬件系统由多路开关、温度变送器、工控机、信号输入输出......
针对传统的扩散炉控制系统温度控制精度较低的现状,提出一种基于Smith预估补偿的PID串级炉温控制系统,并建立扩散炉炉内温度的数学......
扩散炉温度自动监控系统是对双管扩散炉温控部分进行改造，以提高炉温精度，从而提高生产线的成品率，降低系统能耗。通过对Actel公司的F......
介绍了一种用于太阳能电池高阻扩散工艺的扩散炉温度控制系统,该系统结构简单,控制效果良好,能满足60Ω以上高阻的生产要求。......
为了适应太阳能电池生产的新工艺需求,提出一种新型的软着陆闭管扩散炉系统,为扩散炉系统向智能型、精密型的方向发展进行有益的探......
在太阳能电池、微电子等半导体工艺制程中,液态源以生产效率高、成膜特性好、气压小不易泄漏等优点,广泛应用于扩散、氧化、化学气......
近年来,随着国家大力提倡发展绿色能源、清洁能源,太阳能光伏发电技术得到了不断的发展.扩散是太阳能电池片生产环节中最关键的工......
针对传统的扩散炉控制系统的温度控制精度、生产工艺控制能力等较低的现状，提出了一种以PLC为核心的扩散炉智能控制系统。该系统将......
依据连续式扩散炉的结构特点以及工作原理，设计出了一套不同于传统扩散炉的进气装置。由于气流在进气时存在损失，如果进气管上通气小......
介绍了一种用于晶体硅光伏电池片工艺的软着陆洁净闭管扩散炉，着重介绍了设备结构组成及性能．并给出了工艺结果说明设备性能达到国内......
针对高温氧化扩散炉设备工艺温度需求，提出了高性能多段炉温控制系统与整定技术。系统各段加温区控制与整定采用各自独立通道，系统通......
日前,本刊通讯员在SemiconChina 2005展会上了解到,已通过生产验证的热处理系统领先供应商及原子层淀积(ALD)创新者Aviza Technolo......
文中从化学结构和官能团特性推出了卤元素Si-SiO_2系统中可动离子钝化的模型和氢离子存在状态,满意地解释了有关各种钝化现象。
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分析了扩散炉直接控制和两组计算机控制方案的特点，介绍了两种控制的具体方法，通过利用目前先进的计算机硬件和软件的实例，提出了扩散......
针对多工位扩散炉的温度控制要求,介绍了以TCA785为核心的可控硅移相触发电路设计.详细介绍了TCA785的工作原理在智能扩散炉控制系......
<正>1发展现状1.1整体情况目前,我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、太阳电池片、组件的生产及相应的纯水制备、环保处理、......
扩散炉是电子元件生产的重要工艺设备，它适用于晶体管、晶闸管、固体集成电路等半导体器件制造过程。在扩散炉工艺参数中，温度具有决......
扩散炉是电子元件生产的重要工艺设备，它适用于晶体管、晶闸管、固体集成电路等半导体器件制造过程。在扩散炉工艺参数中，温度具有决......
低压化学气相沉积（LPCVD）是化学气相沉积（CVD）的一个分支，同时也是半导体集成电路制造工艺中必不可少的重要工序之一。它主要用于多晶硅......
传统能源的日益枯竭及其带来的环境污染催生了新能源技术的发展。太阳能技术的快速发展，也迫切要求太阳能电池生产装备的创新开发。......
<正> 石英玻璃是以水晶、硅石、硅化物为原料,经高温熔化或化学气相沉积制成的,二氧化硅含量可达96～99.999%以上。熔制方法有电熔法......
介绍了一种用于卧式扩散炉的自动上下料系统,对自动上下料系统组成进行了介绍,着重讨论了系统的安全性问题,并对安全性提出了解决......
采用直径2英寸的硅片时,应调整温度加热扩散炉,将舟插入炉中。但是对于4英寸的硅片,由于大孔径化而发生滑移线,硅片的弯曲也容易......
随着欧盟和美国对华贸易保护主义的不断升温，并于近期宣布对中国光伏产品征反倾销、反补贴税，我们不尽自省。扩散炉是太阳能电池生产......
基于LabVIEW与PLC，对扩散炉供气系统的控制进行了研究。针对扩散炉供气系统的要求，从供气系统的结构出发，以LabVIEW为开发平台，结合串......
