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反应磁控溅射MgO薄膜溅射模式的分形维表征
用反应磁控溅射的方法制备了MgO薄膜.基于原子力显微镜观测,并借助Fourier变换,计算了薄膜表面形貌的分形维数.发现分形维数变化对......
期刊
反应溅射
MgO薄膜
分形维
溅射模式
reactive magnetron sputtering MgO film fractal dimension spu
氧化钇薄膜反应溅射法生长、性能及红外光学应用研究
随着航空航天技术跨入超高音速阶段,红外窗口和头罩元件经受着气动热/力等极端使役环境,使得窗口元件的增透保护显得尤为重要,因此......
学位
氧化钇薄膜
反应溅射法
溅射模式
晶体结构
薄膜性能
红外应用
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