点衍射干涉仪相关论文
为解决时域相移小孔点衍射干涉仪中移相依赖昂贵压电陶瓷相移器，且长时间采集易受环境干扰影响的问题，提出一种基于偏振同步相移的小......
点衍射干涉测量技术是通过微米级圆孔衍射产生近乎理想的球面波作为参考面形,摆脱了实物参考镜面形对测量精度的限制,理论上检测精......
点衍射干涉仪(PDI)中衍射参考球面波的质量受照明物镜像差和小孔的质量、状态的影响。基于矢量衍射理论，分析计算了可见光经过带像......
针对高精度点衍射球面检测系统中金属反射介质的偏振效应，分析了不同偏振态光束在不同孔径角范围情况下所引入的斜反射波前像差。通......
介绍了一种结构简单紧凑、可用于高精度实时相位波前测量的红外点衍射干涉仪，采用类迈克耳孙的光学结构，并结合低通小孔滤波，同时使用......
相移点衍射干涉仪利用测试波和参考波的横向错位产生载波干涉条纹,因此测量结果中必然引入一定的系统误差。在分析相移点衍射干涉......
点衍射干涉术因为具备高精度、高分辨率、可以瞬态测量的优点,成为波前检测的一种重要手段,在强激光、天文光学、生物医学等领域有......
针对点衍射干涉仪(PDI)的小孔衍射波前,提出了一种基于扩展奈波尔-泽尼克(Nijboer-Zernike)(ENZ)理论进行超高精度检测的方法。描......
点衍射干涉仪中小孔对准误差是影响衍射参考波面质量最主要的误差源。基于瑞利索末菲矢量衍射理论,建立了非傍轴高斯光束经小孔衍......
为了抑制环境振动引入的测量误差,实现对球面光学元件面形的动态检测,提出了一种基于微偏振片阵列的反射式针孔点衍射干涉系统.该......
光学波前测量技术在自适应光学、光学检测等领域广泛应用，为相关的波前探测技术的发展起到极大的推动作用。点衍射干涉仪（PDI）通过针......
点衍射干涉仪采用小孔衍射标准球面波作为参考波前,满足了高精度波前检测要求。点衍射干涉仪是共光路系统,参考光和测试光难以分离......
光学技术的快速发展对光学系统质量或光学面形要求不断提高,而现有商用干涉仪的检测精度由于受到标准面加工的限制,其检测精度的均......
点衍射干涉仪是波前测量的有效手段,其无需参考镜、共光路结构等优点可以满足高精度的测量要求。为了实现光学波前的瞬态测量,研究......
星间激光通信系统要求发射的激光光束具有高度的平行性。光学衍射极限是光束在有限孔径下所能达到的最小发散度,此时波面具有大约0......
介绍了基于点衍射干涉仪的环形子孔径拼接检测非球面的理论和方法，分析了其基本原理，相对传统非球面检测方法，这种方法可以有效避免高......
考虑有限距光学系统的成像质量与系统垂轴放大率相关,本文提出了基于系统波像差检测的垂轴放大率测量方案。以给定的光学系统中像......
干涉仪是光学元件面形加工中必不可少的检测设备，其检测精度限制了光学面形的加工精度。点衍射干涉仪利用亚微米量级的针孔衍射产生......
在充分利用Mach-Zehnder自参考干涉系统无需设置专门参考光优点的基础上,提出一种激光复振幅实时重建方法.在参考臂和测试臂上分别......
为了保留光纤点衍射干涉仪容易对准以及衍射光束易于控制的优点，同时又能实现大数值孔径（ NA）光学系统的检测，设计了一种新型的波面参......
为了研究点衍射干涉仪中针孔的横向离焦与轴向离焦对衍射光的强度与衍射参考波面误差的影响,基于菲涅耳衍射理论,建立了会聚光束经......
不同步数相移算法下被测件径向相移不均匀引入的误差不同,对测量的影响也将不同。基于点衍射干涉测量光路,构建了误差分析模型,以5......
在高精度的光学加工和装调过程中,相应的高精度检测技术具有着重要的辅助和保障作用。在众多的光学检测方法中,点衍射干涉检测技术......
<正> 光学检测是光学加工及光学装配过程中一项必不可少的内容。常用的干涉测量技术如双光束干涉和共程干涉仪等都有各自的优缺点,......
建立了一种基于偏振掩膜板与环形共路结构的点衍射干涉仪,通过旋转偏振片可以改变参考光与测试光之间的相对光强,实现干涉条纹对比......
随着对高精度光学元件的需求不断增加 ,对光学检测精度的要求也随之提高 ,合理可行的检测方法对光学加工的发展至关重要。本文在已......
为瞬态测量近红外激光波前,提出了一种斜入射结构的反射式错位点衍射干涉仪方案。将点衍射干涉仪集成在镀有特殊膜系的平板基片上,......
研制点衍射干涉仪时,小孔的形貌和装调误差会对衍射波前质量产生影响,故本文研究了采用相位复原对小孔衍射波前质量进行测评的方法......
针孔或光纤直径的大小是影响点衍射干涉仪检测精度的重要因素,在实际检测中须根据检测任务的精度要求来选择小孔的尺寸。基于标量......
极紫外光刻(Extreme Ultraviolet Lithography, EUVL)是适应于27nm~11nm节点的数代超大规模集成电路制造的光刻工艺，它采用13.5nm的......
分析了一种光强解耦合的分布式随机并行梯度下降算法,此算法借助近场的波前传感器得到性能指标来得到算法的更新参数,这种性能指标......
高精密仪器与设备的发展进步，对我国未来科学技术的发展具有重要意义，而精密光学元件的加工，往往是生产此类仪器与设备的核心技术。随......
为了模拟用于球面面形高精度检测的相移点衍射干涉仪的测试过程,介绍了点衍射干涉仪的基本工作原理,分析了相移点衍射干涉仪的测量......
相移点衍射干涉仪(PS/PDI)是应用于极紫外光刻投影物镜波像差在线检测的高精度检测设备。在介绍国际相关机构PS/PDI研究进展的基础......
