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随着微光学、微机电器件工艺制造的要求不断提高,对于激光直写技术的写入精度和光刻分辨率有了很高的要求。为了提高光刻分辨率,减......
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空间相移干涉术可以在同一时刻采集多幅相移干涉图,由此提取待测相位参数,从而实现动态目标的干涉测量。该方法在光学加工、天文、......
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