热像差相关论文
为了降低紫外光刻投影物镜受环境温度稳定性引起的性能恶化（主要是焦面偏移等）,借鉴空间红外光学的无热化的研究成果,并结合投影物镜......
恒温水套是光刻物镜工作环境温度控制系统的重要组成部分。为了研究恒温水套的关键参数与性能,设计了一个小比例水套模型。恒温温......
热像差是导致光刻物镜工作状态下像质劣化的主要原因之一。针对同轴两反式高数值孔径(NA)投影光刻物镜的结构特点,提出了将元件位......
光刻物镜硅片刻蚀过程中的Z5像散会使光刻物镜波像差产生严重的劣化。为了对像散进行实时补偿,提出一种Z5像散主动补偿系统。该系......
随着集成电路芯片线宽的持续减小,光刻工艺对投影物镜分辨率的要求不断提高,而分辨率的提高则意味着投影物镜像差的减小。对于一台......
学位
光学投影物镜是商用集成电路制造设备光刻机的核心部分。随着分辨率要求的提高,投影物镜像差控制越严格。在刻机的多重曝光技术采......
学位
为了精确控制与补偿物镜的热像差,设计了一套三镜实验光学系统,基于该系统验证了热像差计算方法的准确性。介绍了热像差分析方法及......
光机热集成分析是光机结构设计中的重要环节,对光学系统像质的预测与补偿有着重要的参考价值。针对小物镜系统,进行光机热集成分析......
非均匀照明导致的热像差是光刻机投影物镜工作过程中成像性能劣化的主要因素,对其补偿是必要的。针对物镜热像差的补偿问题,提出了......
