电子束检测相关论文
随着半导体制造技术的发展,器件尺寸越来越小,以满足人们对器件高性能和低功耗的要求。尺寸缩小对制造技术提出了巨大挑战,缺陷成......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
本文综述了近年来超快电信号测量技术的进展.着重介绍了几种超快电信号测量技术,电子束检测技术、光子束检测技术、超快扫描探针显......
绝缘膜正带电现象在集成电路芯片低能电子束检测方面具有可以利用的前景.采用简化的表面电位分布模型,通过数值方法计算了二次电子......
带电粒子束成像检测技术是一种可以提供纳米级测量精度的技术,广泛应用于半导体检测中。在进行硅片检测时,要求待测硅片在扫描检测......
<正>应用材料公司日前宣布其下一代电子束检测系统已在多家领先的晶圆代工厂,以及逻辑芯片、DRAM和3D NAND工厂得到广泛应用。随着......
