电容式开关相关论文
插入损耗是射频微机电系统(RF MEMS)开关的关键性能指标之一.电容式RF MEMS开关是一种适合高频应用的开关器件,对其损耗机制进行了......
为了获得高保真的电容式RF MEMS开关自驱动失效阈值功率模型,必须弄清开关膜片上电场分布的边缘场效应.由于受到边缘场效应的影响,......
研究了RFMEMS开关的制造工艺流程和聚酰亚胺牺牲层的去除工艺。在开关的设计和加工中采用在信号线两侧的地线上生长一层绝缘介质层......
计及电容式RF MEMS 开关膜片上电场分布的边缘场效应后,很难建立高保真的开关自驱动失效阈值功率解析模型.因此,采用膜片承受射频......
对几种可用于MEMS电容式开关中的弹性薄膜材料进行了分析,含硅4%的轻质量铝合金具有较佳的性能.应用该弹性膜制备了微波MEMS电容式......
随着信号输入功率的升高,电容式RF MEMS开关会发生自热效应使膜片变形,引起开关气隙高度的改变,导致开关驱动电压漂移,严重影响其......
电容式RF MEMS开关在控制高功率射频信号时会发生自锁失效,由于开关桥膜与介电层之间的粗糙接触,开关的down态电容会发生退化,因此......
电容式RF MEMS开关作为重要的MEMS器件之一,与传统的开关器件相比具有很多优点,目前越来越受到人们的关注。但是电容式RF MEMS开关......
