MEMS开关相关论文
频率选择表面(Frequency Selective Surface, FSS)是一种二维周期性阵列结构,在空间电磁环境中表现出带通或带阻的滤波特性,故其常......
随着现代社会通信需求的不断增加,无线通信技术得到了飞速发展,传统的单天线形式已不能满足系统更高的通信需求,基于此,可重构天线......
RF MEMS开关技术是指通过微加工方式制造生产,微机械手段操作使用的射频开关技术,广泛应用于国防、军事、商业等诸多领域,一直......
制作了一种以聚酰亚胺作为牺牲层的低下拉电压开关,聚酰亚胺牺牲层采用反应离子刻蚀(RIE)工艺进行刻蚀.研究了刻蚀功率对刻蚀时间......
文章讨论了 RF MEMS开关类器件在相控阵雷达中的应用,先介绍了MEMS移相器＼延迟器在降低雷达成本中的作用,又讨论了MEMS开关在重构天......
RF MEMS开关由于其低插损、低功耗、体积小以及易于集成等优异特性而成为了近年来国内外研究的热点。本论文围绕K波段并联电容式ME......
微波移相器在仪器、测量、功率合成器以及线性放大器等领域中，尤其是在相控阵雷达天线阵列中有广泛的应用。尽管相控阵天线阵列仍主......
基于悬臂梁结构的微纳传感器具有灵敏度高、响应快和结构简单等优点，因此被广泛应用于各种高灵敏探测中。本论文对两种基于悬臂梁结......
当前,无线通信系统中越来越多地使用微波/射频MEMS器件,MEMS器件已成为各国研究机构的研究热点,MEMS开关作为微波/射频通信系统中......
MEMS开关电介质层中的电荷注入是影响开关可靠性的关键因素。电介质注入会导致开关工作电压漂移,甚至失效。为了更好地研究和应用M......
本文描述了射频/微波MEMS shunt开关的理论模型和数值结论.把可动薄膜的运动近似地模拟为作用在可动薄膜上的变静电力、弹力及空气......
提出一种基于MEMS开关的可重构矩形缝隙环天线设计。其关键部件之一是射频微波MEMS开关,选取了接触式MEMS开关。该天线为用共面波......
在电容式RF MEMS开关的动态工作过程中，会有电磁波产生．根据开关膜桥的动态运动模型，把开关工作分成了四个过程，并通过麦克斯韦方程建......
微波MEMS开关是MEMS技术的一个分支，也是二十世纪九十年代以来MEMS领域的研究热点。微波MEMS开关是工作在射频到毫米波频率下的微机......
电容式RF MEMS开关介质层电荷累积被认为是导致开关失效的主要原因．基于电容式RF MEMS开关工作过程中电场强度的变化，分析讨论了累积......
设计了一种新型的分形微带天线,提出了一种扩展天线带宽的方法,此方法可将天线带宽提高将近6倍,相对阻抗带宽从4.9%提高到30%左右......
针对传统的分布式射频(RF)微机电系统(MEMS)移相器结构可靠性较低、平面面积较大、对制作工艺要求较高的问题,设计了一种新型5位分......
介绍了基于光致形变液晶弹性体二维自由梁模型在不同条件下的弯曲程度。根据其有限元分析,计算模型在不同光照强度、不同L/h值、及......
手机的发展要求在以低插入损耗进行多频带和多模频带切换的同时仍保持优良的线性特性，这推动了RFMEMS开关的应用和发展。随着新的复......
由沉积工艺产生的残余应力对RF MEMS开关的动态特性有重要影响。利用变量分离法推导出桥模式RF MEMS开关的频率方程组。给出二分法......
本文提出了一种新方法来解决传统静电驱动的电容式微机电(MEMS)开关的驱动电压过高的问题。通过对介质层预先注入和存储适量的电荷......
将RF MEMS技术应用于集总模型,设计了一个基于RF MEMS开关控制通频带的微波滤波器。该滤波器的通频带可在3.43 GHz—6.39 GHz和6.8......
介绍了一种基于扭转的新型低压电容式RFMEMS开关的设计.此开关在保留传统挠曲变形的基础上,引入了扭转变形,并利用Intelli Suite等......
对几种可用于MEMS电容式开关中的弹性薄膜材料进行了分析,含硅4%的轻质量铝合金具有较佳的性能.应用该弹性膜制备了微波MEMS电容式......
本文讨论了微电子机械系统（MEMS）技术在可重构天线中的应用。介绍了一些典型的可重构天线的形式。通过改变天线的内部结构形式或尺寸......
介绍了RF MEMS开关的工作原理和基本结构，给出采用Ansys有限元分析方法仿真RF MEMS开关的流程及方案。对一种新型的低驱动电压RF ME......
射频微机电系统(RF MEMS)开关是基于MEMS技术的微波信号变换的关键元件,开关的可靠性及失效问题是决定其能否最终成功应用的关键.......
欧姆龙日前宣布，在其子公司欧姆龙半导体（OSC）内建造从产品开发到量产的用于生产MEMS部件的200mm晶圆生产线。该生产线计划于2008年4......
提出了一种新型的毫米波MEMS开关自激励机理的实验验证结构,该结构由一分四功率分配器和5个相同开关形成的阵列组成.通过CST Micro......
MEMS开关的功率能力是MEMS开关使用中必须考虑的一个指标,本文测试了我所研制的RF MEMS开关的抗连续波烧毁功率性能,其抗连续波烧......
将天线设计中常用的矩量法(MOM)与免疫算法相结合对可重构天线进行优化设计,分析免疫算法在可重构天线设计中的优势。在归纳总结近......
法国市场调研与策略咨询公司Yole Dveloppement预计，MEMS开关与变容二极管市场到2012年将突破7亿美元。......
日本欧姆龙公司推出了用于半导体测试仪及高频（RF）测量设备的RFMEMS开关，该产品为支持10GHz高频传输的单刀双掷（SPDT）开关，实现了2004年......
Analog Devices,Inc.（ADI）日前宣布在开关技术领域取得的重大突破,提供用户期盼已久的替代产品,以取代100多年前即被电子行业采用的......
提出了采用陷波电路结构来补偿串联RF MEMS开关断开时的耦合电容,提高其隔离度的一种方法.理论分析显示,采用这种方法,在2～5 GHz的......
描述了一种串联微波MEMS开关的设计、制造过程，它制作在玻璃衬底上，采用金铂触点，在DC～5GHz，插损小于0．6dB，隔离度大于30dB，开关时间小于30......
RF MEMS技术在民用和军事方面有巨大的潜力，作为其核心器件的RF MEMS开关很有希望在雷达和通信领域之中成为关键器件。电磁驱动RF M......
欧姆龙电子元件LLC宣布采用其MEMS专项技术，已成功推出2SMES-01高频机械延时装置。为满足自动测试设备市场所需，该产品具有卓越的高......
研究了静电执行的电容式并联毫米波MEMS开关的S参数在开关过程中的瞬态变化。以一个电容式并联毫米波MEMS开关为实例，采用已有的开......
为找出影响微波开关性能的参数及其开关的发展方向，从物理机理上分析和比较了．半导体开关和RFMEMS（射频微电机械）开关的性能。提出了微......
对桥式RF MEMS开关开启电压的计算方法进行了研究，通过建立力电耦合模型，解联立方程组，得到了开启电压关于各项开关参数的表达式．同时......
MEMS开关制造商Tera Victa Technologies公司将推出号称世界上最快的MEMS开关。这种26．5GHz的单极双掷开关尺寸为3．25×4．5×......
建立桥模式RFMEMS开关的非线性振动微分方程，充分考虑由微加工工艺产生的残余应力的影响。给出Runge-Kutta方法求解流程图，并进行实......
本文采用MEMS工艺制作接触式串联射频开关,射频开关采用双端固定的悬臂梁结构,悬梁为PECVD制作的SiN薄膜,溅射Au制作共平面波导,聚......
介绍了采用金、铝硅合金等金属分别用作压控式RFMEMS开关阵列——移相器的可动薄膜，实验表明金的延展性比较好，弹性比铝硅合金稍差，启......
分析了外界惯性冲击对低真空封装的旁路电容式RF MEMS开关性能的影响．得到了近似计算外界惯性冲击引起位移的解析式．在已知最大容许......
