MEMS开关相关论文
频率选择表面(Frequency Selective Surface, FSS)是一种二维周期性阵列结构,在空间电磁环境中表现出带通或带阻的滤波特性,故其常......
随着现代社会通信需求的不断增加,无线通信技术得到了飞速发展,传统的单天线形式已不能满足系统更高的通信需求,基于此,可重构天线......
制作了一种以聚酰亚胺作为牺牲层的低下拉电压开关,聚酰亚胺牺牲层采用反应离子刻蚀(RIE)工艺进行刻蚀.研究了刻蚀功率对刻蚀时间......
RF MEMS开关由于其低插损、低功耗、体积小以及易于集成等优异特性而成为了近年来国内外研究的热点。本论文围绕K波段并联电容式ME......
当前,无线通信系统中越来越多地使用微波/射频MEMS器件,MEMS器件已成为各国研究机构的研究热点,MEMS开关作为微波/射频通信系统中......
本文描述了射频/微波MEMS shunt开关的理论模型和数值结论.把可动薄膜的运动近似地模拟为作用在可动薄膜上的变静电力、弹力及空气......
提出一种基于MEMS开关的可重构矩形缝隙环天线设计。其关键部件之一是射频微波MEMS开关,选取了接触式MEMS开关。该天线为用共面波......
在电容式RF MEMS开关的动态工作过程中，会有电磁波产生．根据开关膜桥的动态运动模型，把开关工作分成了四个过程，并通过麦克斯韦方程建......
电容式RF MEMS开关介质层电荷累积被认为是导致开关失效的主要原因．基于电容式RF MEMS开关工作过程中电场强度的变化，分析讨论了累积......
设计了一种新型的分形微带天线,提出了一种扩展天线带宽的方法,此方法可将天线带宽提高将近6倍,相对阻抗带宽从4.9%提高到30%左右......
本文提出了一种新方法来解决传统静电驱动的电容式微机电(MEMS)开关的驱动电压过高的问题。通过对介质层预先注入和存储适量的电荷......
将RF MEMS技术应用于集总模型,设计了一个基于RF MEMS开关控制通频带的微波滤波器。该滤波器的通频带可在3.43 GHz—6.39 GHz和6.8......
对几种可用于MEMS电容式开关中的弹性薄膜材料进行了分析,含硅4%的轻质量铝合金具有较佳的性能.应用该弹性膜制备了微波MEMS电容式......
射频微机电系统(RF MEMS)开关是基于MEMS技术的微波信号变换的关键元件,开关的可靠性及失效问题是决定其能否最终成功应用的关键.......
提出了一种新型的毫米波MEMS开关自激励机理的实验验证结构,该结构由一分四功率分配器和5个相同开关形成的阵列组成.通过CST Micro......
MEMS开关的功率能力是MEMS开关使用中必须考虑的一个指标,本文测试了我所研制的RF MEMS开关的抗连续波烧毁功率性能,其抗连续波烧......
将天线设计中常用的矩量法(MOM)与免疫算法相结合对可重构天线进行优化设计,分析免疫算法在可重构天线设计中的优势。在归纳总结近......
由于能耗低、隔离度好、工作频带宽，MEMS开关在RF领域得到了广泛的应用。本文着重介绍了RF MEMS开关的基本参数、分类以及典型制造......
RF MEMS技术在民用和军事方面有巨大的潜力，作为其核心器件的RF MEMS开关很有希望在雷达和通信领域之中成为关键器件。电磁驱动RF M......
研究了静电执行的电容式并联毫米波MEMS开关的S参数在开关过程中的瞬态变化。以一个电容式并联毫米波MEMS开关为实例，采用已有的开......
为找出影响微波开关性能的参数及其开关的发展方向，从物理机理上分析和比较了．半导体开关和RFMEMS（射频微电机械）开关的性能。提出了微......
对桥式RF MEMS开关开启电压的计算方法进行了研究，通过建立力电耦合模型，解联立方程组，得到了开启电压关于各项开关参数的表达式．同时......
建立桥模式RFMEMS开关的非线性振动微分方程，充分考虑由微加工工艺产生的残余应力的影响。给出Runge-Kutta方法求解流程图，并进行实......
分析了外界惯性冲击对低真空封装的旁路电容式RF MEMS开关性能的影响．得到了近似计算外界惯性冲击引起位移的解析式．在已知最大容许......
桥式射频（RF）微机电系统（MEMS）开关的上电极薄膜残余应力影响开关的响应时间、下拉电压等性能参数,降低了开关的可靠性.在分析传统拉伸......
介绍了一个RF MEMS单刀四掷矩阵开关的设计，用四个串联式、电阻接触型、悬臂梁RF MEMS开关制作在微带电路板上完成。在频带1～5GHz内，......
提出了一种串联MEMS开关的电磁耦合模型,并且应用该模型,对采用表面硅工艺和体硅工艺制作的MEMS开关,采用全波分析方法,进行了瞬态......
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提出了一种新型微带贴片天线的频率可重构设计。采用一种交叉形的贴片结构，在贴片的非对称缝隙中添加RFMEMS开关，通过调节开关的通断......
针对RF MEMS开关在开和关瞬态时的充电和放电的过程中的开关电容的变化、极板间电场的变化以及因此而产生的磁场进行了详尽的推导,......
针对MEMS开关在宽带应用时遇到的驱动信号与微波信号间的干扰问题,论述了驱动信号与微波信号物理隔离的多种开关的设计,分析了4种......
在硅衬底上设计了频率分别为11．7GHz和12．7GH的双波段缝隙天线，此设计利用RF-MEMS开关来实现天线的频率重构；天线结构紧凑、共平面波导......
静电驱动MEMS开关可靠工作需要较高的驱动电压,大多数射频前端系统很难直接提供,因此需要一种实现电压转换和控制的专用芯片,以满......
牺牲层工艺是制作MEMS开关的重要工艺,牺牲层平整度差会导致开关上电极变形,进而影响MEMS开关的性能.提出了一种高平整度聚酰亚胺......
介绍了采用集总参数模型对MEMS开关进行设计和仿真的方法.在纳米尺度下,卡斯米尔力和范德华力是不可忽略的作用力.讨论了卡斯米尔......
对介质桥串联接触式RFMEMS开关的制备工艺进行了研究。介绍了开关的结构，说明了采用常规制备工艺容易在桥膜上形成应力集中，严重影响......
针对现有RF MEMS移相器存在工作频率低、相移精度低、MEMS开关数量多、平面面积大、损耗大、制造难度大及成本高等问题,本文提出一......
信息科技的发展日新月异,人们对通信系统的要求日益增长,射频系统器件数量、现代通讯电子设备数量均有大幅度提升,通信系统承载空......
平面倒F天线(Planar Inverted F Antenna,以下简称PIFA)具有低剖面,体积小,易于设计制作等优点,在移动通信终端设备中被广泛应用。......
分析了沉积薄膜厚度、PECVD的薄膜沉积温度、反应气体形成的杂质以及多层薄膜之间热应力匹配等因素对薄膜残余应力的影响.应用光刻......
给出了用于微机电(MEMS)开关悬浮桥的低应力氮氧化硅(SiOxNy)薄膜的制备工艺研究结果,分析了等离子增强化学气相淀积(PECVD)制备低......
本文设计了一种基于MEMS开关的快速切换频率的双频微带缝隙天线.通过MEMS开关的通断来改变缝隙的尺寸,从而改变电流分布,实现天线......
提出了一种基于微机电系统(MEMS)开关的射频衰减器的设计方案。首先在DC~20 GHz内,以10 dB衰减量为目标,对整体电路结构进行设计,......
目前,聚酰亚胺已成为MEMS开关中一种主要的牺牲层材料.在涂胶前,对聚酰亚胺进行低温和高温两步热处理,使其满足光刻的要求.光刻腐......
本论文的研究工作主要分三部分,即移相器、混频器和有源电感三种射频器件的研究。近年来随着MEMS技术的发展,MEMS移相器越来越受到......
毫米波是指波长为毫米级别亦即频段从30GHz到300GHz的电磁波,利用毫米波技术可以对要求精度较高的目标进行测量,毫米波可以传输更......
体积小、重量轻、外观优美、结构紧凑的微带天线在移动通信等领域得到了广泛应用,如何实现其小型化、宽带化、多频和多功能是当今......
现代通信系统大容量、多功能、超宽带的发展趋势对天线提出了更高的要求。可重构天线是天线技术研究的新方向,能够有效减小通信系......
本论文课题来源于国防重点实验室基金项目——毫米波MEMS天线阵列基础技术研究。论文前期主要包括以下四个方面的工作：(1) 介绍了口......
MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)开关的迅速发展显示出了它在低损耗微波应用领域强大的潜力。与传统的FET场效应管和PIN二......
