高功率重频HF/DF激光因其具有的波长和功率优势成为当前中红外激光技术发展的热点之一。介绍了利用紫外预电离横向放电结构和工作......

电负性气体的存在会对局部放电过程产生重要影响,为此,以低密度聚乙烯薄膜内的人工气隙作为研究对象,研究了不同氧气与氮气比例、......

提出了一种分析电负性气体中电子崩发展过程的四参数模型.在该模型中,不仅存在电离和附着过程,而且存在着不稳定状态负粒子的去附......

文章对局部放电损伤过程中油浸绝缘纸的表面生成物及气隙气体进行了分析。利用显微镜和扫描电镜分析了绝缘表面形貌;利用红外光谱......

目前广泛应用的电推力器中,大多采用加速单一正离子的方式来获得推力和相应比冲。该加速方式需要增设中和器,对喷射出的正离子进行......

本课题组在过去开展了电正性气体(Ar)射频感性耦合放电模式转化及受迫振荡非线性研究,在此工作基础上,本实验研究电负性气体(SF6)......

在电推力器的广泛应用中,大部分都采用加速正离子的方式产生推力,且需要安装中和器发射电子对喷射出的正离子进行中和,否则会导致......

双频容性耦合等离子体（dual-frequency capacitively coupled plasma DF-CCP）源是半导体工业中重要的刻蚀设备,由于其可以产生大面积......

双频容性耦合等离子体(Dual-Frequency Capacitively Coupled Plasmas, DF-CCPs)能够独立控制轰击到基片表面的离子通量和能量,从......