相位提取算法相关论文
硅片封装表面变形测量对于保证集成电路产品的性能与可靠性、封装工艺分析与优化,具有重要意义。本文围绕硅片封装表面变形动态高......
随着微纳米器件的广泛应用,关于微纳米检测技术的研究不断深入。基于光学原理的非接触式测量,具有无损、快速、高精度的优点,是微......
声表面波（SAW）传感器因其体积小、灵敏度高、抗干扰能力强、可实现无源无线通信等优点，受到了广泛关注。该传感器可分为谐振型和延迟......
1969年,美国贝尔实验室(Bell Laboratory)的Boyle和Smith发明了电荷耦合器件(Charge Couple Devices,CCD),20世纪六十年代末,美国......
应用相移干涉术测量物体表面微观形貌时,相移器的移相误差直接影响测量精度。在四帧干涉图情形下,推导出了对移相误差不敏感的相位......
采用投影栅相位法进行三维测量时,光栅移动的精密控制是整个测量系统的基础。针对相移误差,对硬件系统进行设计,通过步进电机细分......
双点光源移相干涉测量是大口径光学元件位相缺陷检测的一种重要方法。为了分析双点干涉中误差对解相算法的影响，首先给出相位缺陷检......
相移干涉计量作为干涉计量的一种方法，人们对其进行了广泛的研究，提出许多新的相移实现方法和计算方法，由于它的测量精度高，可以准确地......
描述了一种基于相移显微干涉术的MEMS测试方法，达到了纳米级分辨力．从理论上分析了4种常用相移算法对测量过程主要噪声（相移器的移相......
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从理论上详细分析了经典相移算法对线性相移误差的敏感度，用频域和空域两种分析方法对定步长算法抑制线性相移误差的能力进行了分析......
随着微细加工技术的不断发展进步和微电路、微光学元件、微机械等微表面的不断出现,对微表面三维形貌测量技术也提出了更高的要求,......
共焦检测技术是一种用于微米及亚微米尺度测量的三维光学显微技术。由于共焦检测技术具有测量范围大、不损伤测量表面、可直接测量......
本文对表面微观形貌相移干涉测量技术开展了全面、系统的理论与实验研究工作。重点对相移干涉术算法，即相位提取算法和相位去包裹算......
针对现有的相位提取算法只对某些特定的误差不敏感，不能满足高精度光学检测的要求，本文引入一种等间隔多步移相算法一权重待定的加权......
