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真实硬度相关论文

磁控溅射类金刚石碳膜的显微硬度

采用显微硬度测试方法,研究在单晶硅衬底上沉积厚度仅为0.09-0.56μm的磁控溅射类金刚石碳膜的力学性能。结果表明,溅射碳膜的硬度......

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显微硬度薄膜类金刚石碳膜真实硬度磁控溅射压痕尺寸效应碳膜显微硬度测试类金刚石溅射工艺

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