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当今世界,一个国家半导体行业的先进程度显示了这个国家高新技术的先进程度。而用于半导体生产的真空机器人(真空机械手)负责在不......
磁力传动技术是通过永磁材料或电磁铁磁极所产生同性相斥、异性相吸的磁力作用，来实现力或转矩无接触传递的一种新技术。随着上世纪......
磁力传动技术是通过磁性材料所产生同性相斥、异性相吸的磁力作用,来实现力或转矩无接触传递的一种新技术。由于磁力传动可以在传......
真空机器人是先进半导体制造行业中不可缺少的重要设备之一.本文介绍了一种并联型真空机器人的运动学模型,以及利用OpenGL和STL格......
对真空机器人用磁感应式磁力传动器进行了建模，对其磁路和机械本体部分进行了设计。根据结构尺寸要求和已有各参数间的影响关系，确定......
要保证碰撞发生时真空机器人与晶片的安全,避免造成较大的损失,真空机器人必须具有碰撞保护功能。在研究真空机器人位置误差变化的......
为了使真空机器人获得高速、高精度的运动性能并减少系统的残余振动,文中提出了一种加加速度受限的非对称轨迹规划方法。首先阐述......
