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显微拉曼(μRS)在硅半导体器件生产中有许多重要和独特的应用.它可以提供一些非常重要的,于传统表征技术, 如四探针法,TEM, AFM, S......
硅半导体是现代信息技术的基础。现在，各种各样的硅半导体器件构成了当今微电子技术的主体，并且看来这种状况还要继续保持一段相当长......
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