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硅纳米结构膜相关论文
硅纳米结构制备及其在传感器件上的应用
气体传感器由于可以检测氢气、氨气等易燃易爆、有毒气体,而被广泛应用。硅纳米线是新型的一维半导体材料,在光学、电学上有其特殊......
学位
硅纳米结构膜
蓝宝石衬底
化学气相沉积
气体传感器
化学性质
氨气检测
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