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硼峰相关论文
离子注入中硼在R_p缺陷的析出模型(英文)
建立了一种析出模型用来模拟硼在硅中的扩散现象,描述了硼原子与离子注入引起的Rp缺陷之间的相互作用,解释了非活性硼峰形成的原因......
期刊
离子注入
R_p
浅结工艺
Rp缺陷
聚集析出
硼峰
增速扩散
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工艺模拟
硼原子
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