硼磷硅玻璃相关论文
硅基二氧化硅阵列波导光栅是集成化波分复用光网络中的核心器件之一。对其制作工艺的研究对提高器件的性能具有重大意义。提出一种......
<正> 硼磷硅玻璃(Boro-phospho-silicate Glass,BPSG),即掺杂了硼和磷的二氧化硅作为第一层金属前介电质(PMD)以及金属层间介电质(......
BPSG(硼磷硅玻璃)薄膜作为一种重要的层间介质,在半导体集成电路中广泛使用.常压化学气相沉积的BPSG薄膜中B、P含量(质量分数)对BP......
使用有机化合物作反应剂在一个LPCVD反应器中淀积了硼磷硅玻璃膜。含硅反应剂是四乙氧基硅烷(TEOS),含硼反应剂是硼酸三甲脂(TMB),......
进入21世纪,世界半导体芯片代工业的竞争日益激烈,景气与衰退周期逐渐变短,转换频率逐渐增高,半导体代工业悄然进入微利时代。中国......
利用等离子体增强化学气相沉积方法,在S iH4/N2O反应气体中掺入PH3和B2H6制备了用于硅基S iO2平面光波导的硼磷硅玻璃覆盖层.分析......
随着宽带城域网(BMAN)的大力建设,DWDM(密集波分复用)技术的广泛使用,光通讯领域的重要应用前景和巨大的市场潜力变得清晰,具有对......
