磁控溅射镀膜相关论文
海洋环境中蕴藏有丰富的资源,研究海洋温度传感具有重要意义。光纤光栅传感有着防电磁干扰、本征绝缘、耐腐蚀、便于复用等优势。......
由于W-10Ti薄膜可以有效阻止Cu互连线向Si或Si O2基片扩散,且与芯片的附着性好,在集成电路领域得到了广泛的应用。W-10Ti薄膜通常......
纳米多层膜具有单层薄膜难以达到的各种特殊性能,如高的硬度、结合强度,高的韧性及热稳定性,低的摩擦系数等;同时,非晶碳(a-C)薄膜由于......
在飞机紧固件涂层CrN涂层中添加Al元素,可以提高涂层的耐高温性能和耐蚀性能,更好的适应严苛的工作环境。本论文采用MF-DC组合式磁......
目的:探讨镍钛锉表面经磁控溅射镀膜技术处理后,其切割效率及耐磨性是否提高。研究方法:选用04锥度#25 KV4镍钛锉20支,随机分为A组......
本文扼要阐述了磁控溅射镀膜技术在建材及民用工业中的应用前景及特点,所需设备类型及镀膜过程中应注意的若干问题,并对若干种镀膜玻......
为实现用真空磁控溅射镀技术对玻璃进行连续式镀膜,设计了一条基于PLC的自动化生产线。在精确控制镀膜时间和靶电流,保持电压不变......
二元光学元件不仅是制造微光机电系统的关键元器件,而且是制造小型光电子系统的关键元器件。它不仅具有尺寸小、性价比高等优点,并......
表面等离子体共振(Surface Plasmon Resonance, SPR)传感技术具有无需标记、实时检测、微量灵敏等独特优点。近年来,该技术受到了......
在今数字化、信息化、智能化已经广泛普及,存储器也已经非常广泛地应用于我们生产生活的各方各面,并且随着时代和技术的不断向前发......
本文通过Kramers-Kronig方程将半导体的折射率与其吸收系数联系起来,从而将对折射率的讨论转为对吸收系数的讨论。通过理论分析,将......
本文讨论的是在Low-E玻璃镀膜生产过程中所产生的脱膜问题。通过对磁控溅射镀膜工艺原理,Low-E玻璃的特性的介绍,结合Low-E玻璃镀膜......
真空磁控溅射镀膜现在已经成为工业镀膜生产中最主要的技术之一.靶材作为磁控溅射镀膜使用的大宗原材料,其质量对膜层性能有很大的......
对硬质聚氨酯泡沫塑料进行适当的前处理(涂刮不饱和聚酯腻子和喷涂双组份聚氨酯清漆),再采用磁控溅射镀膜技术对其进行紫铜T2镀膜,......
通过理论分析、实际设计和实验,对矩形平面磁控溅射靶表面水平磁感应强度B的传统取值上限进行了拓展,结果表明:若阴极靶体下表面和4个......
磁控溅射镀膜技术由于具有显著的优点而得到了广泛的应用.磁控溅射离子束流密度的大小及分布状况,直接决定着薄膜质量的优劣.本文......
PVD涂层是利用蒸发、辉光放电等物理过程,在基材表面沉积出所需要的涂层的技术,通常采用的PVD技术有蒸发镀膜、离子镀膜和溅射镀膜......
随着造船和汽车工业的发展,人们对发动机的功率和转速指标要求越来越高,因而对轴瓦、衬套等耐磨零件的服役性能要求也越来越苛刻,......
在复杂型腔制件W18Cr4V钢基体上采用磁控溅射法涂镀类金刚石,研究不同的中间过渡层制备复合结构层的DLC碳膜,薄膜中含有sp3杂化碳......
火灾自动闭门器的质量和寿命在国内备受关注,目前大多对闭门器表面处理均采用带有污染性的化学电镀工艺。为解决这一污染环境问题,......
目的比较Cr/CrN/CrAlN涂层和Cr/CrN交替涂层的耐腐蚀性能。方法利用电化学极化曲线、阻抗谱和中性盐雾试验进行测量,结合扫描电子......
讨论了采用磁控溅射镀膜工艺在玻璃衬底上制作AZO透明导电薄膜的工艺方法。分析了AZO透明导电膜产品的质量指标,介绍了磁控溅射镀......
综述了磁控溅射镀膜技术在非平衡磁场溅射、脉冲磁控溅射等方面的发展,利用新型的磁控溅射镀膜技术可以实现薄膜的高速沉积、高纯......
Eifeler公司最初是由Hans Eifeler先生于1981年创立并以自己名字命名的高科技综合工业公司,总部设在德国鲁尔区著名城市杜塞尔多夫......
掺锡氧化铟膜(ITO 膜)是一种具有良好导电性能,在太阳光谱区有很高光学透过率和抗辐照的涂层,它还具有硬度高、耐磨损等特点;这种......
目的:探讨镍钛锉表面经磁控溅射镀膜技术镀膜后,其切割效率及耐磨性是否提高。研究方法:选用04锥度#25 KV4镍钛锉20支,随机分为A组......
存大面积平而基片磁控溅射镀膜过程中,基片表面温度对入射粒子在基片表面的黏附、迁移、成核和结晶等有着非常重要的影响,改善基片......
磁控溅射是应用较为广泛镀膜的方法。磁控镀膜设备具有镀膜质量高、工艺流程短、镀膜过程真空度能灵活掌握等优点。本文针对真空磁......
<正> 1 引 言 随着科学技术的发展,光学薄膜技术已广泛应用于从国防到民生的各个领域,成为高科技领域中最受重视的一个方面,表面反......
铝镀层是常用的一种金属防腐镀层,其制备方法也较多。对某些表面活性强(比如金属铀)的金属进行表面镀铝时,往往需要采用真空物理镀......
本文主要论述了真空磁控溅射镀膜技术近年来国内外的发展状况及其前景,并探讨了该技术的优越性,着重研讨了塑料金属化及提高镀层质......
本设计主要对磁控溅射镀膜机真空室进行改进设计,以改善磁控溅射镀膜的工艺条件。设计内容包括真空室及相关机构设计、计算。计算......
本着绿色设计低碳生产和经济的可持续发展理念,探讨真空镀铝磁控溅射镀膜理论及其技术方法制备镀铝瓦楞纸板。从而获得绿色环保的......
本着经济的可持续发展理念,探讨了真空镀铝磁控溅射镀膜机理及技术方法,介绍了镀铝瓦楞纸板的制备工艺,从而获得绿色环保的镀铝瓦......
随着国际上片式电阻器工艺技术的高速发展,片式膜电阻器等新型电子元器件正在向更小尺寸、更高精度、更高稳定性和更新工艺的方向......