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采用红外光弹测量法测量用磁控溅射淀积在SiO2/Si晶片表面的Cu膜在Si衬底中引入的应力.结果表明:SiO2在Si衬底中引入张应力,而Cu在......
提出了一种新的低温烧结硅/钼结构的方法.根据热弹性理论和复合材料层间应力理论,分析了不同烧结温度下硅/钼结构的层间应力情况,......
本文介绍一种用红外光弹测量方法，对半导体单晶片及其哭喊 件结构中的应力分布进行观察、测量分析，并就其在教学炽的应用作一简介。......
