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耦合差动相关论文
高精度单频激光干涉仪的设计与试验研究
提出了一种光学8倍频的耦合差动式干涉光路,其结构设计简洁紧凑,光路布局对称性好,光程差倍增,符合阿贝原则和结构变形最小原则。对系......
期刊
激光干涉
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大范围二维纳米检测系统的设计研究
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