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自支撑衬底相关论文

射频溅射ZnO作缓冲层的HVPE法生长GaN厚膜

在低温HVPE-GaN/c-Al2O3模板上射频溅射ZnO作为缓冲层,采用氢化物气相外延(HVPE,hydridevapoarphaseepitaxy)法外延生长了高质量的......

期刊

GaN HVPE ZnO 厚膜自支撑衬底缓冲层横向生长氢化物气相外延射频溅射穿透位错密度

GaN厚膜与自支撑衬底的HVPE生长与特性研究

能用于器件制备的优质GaN极性及非极性衬底是解决目前GaN基光电器件发展瓶颈的主要途径，而氢化物气相外延法(HVPE)是目前实现GaN同......

学位

氢化物气相外延法 GaN厚膜自支撑衬底应力缺陷激光剥离非极性有限元方法

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