色分离光栅相关论文
采用微电子工艺技术和衍射光学技术相结合,可以设计加工出新型的微结构光栅,实现以往传统光栅很难实现的新功能.本文报道了我们课......
针对惯性约束聚变(ICF)驱动系统特别是其终端光学系统对元件数和元件厚度的限制要求,利用衍射光学元件(DOE)易于集成的优点,提出一......
采用灰度狭缝进行矢量化的直写,使平台沿着垂直狭缝的方向运动,获得了具有台阶结构的光栅槽型,编写了与DXF文件一致的接口直写控制......
介绍了一种用于惯性约束聚变研究的CSG衍射光栅研制情况,衍射光栅的制作采用离子束刻蚀的方法,光栅刻蚀面积为80mm×80mm.利用星光......
从麦克斯韦方程出发,利用耦合波理论和增强传输矩阵的方法,计算了ICF系统使用的色分离光栅(CSG)的衍射特性.得到了比标量理论设计......
对色分离光栅(CSG)在1064nm Nd:YAG激光辐照下的损伤特性进行了实验研究.研究表明,湿法刻蚀CSG的损伤阈值比干法刻蚀的高,刻蚀面的......
介绍了色分离光栅的设计原理,并对其制作工艺进行了研究。用套刻法以能量为450 eV、束流密度为80 mA/cm2、30°入射角的离子束......
使用严格的耦合波理论分析了ICF系统的色分离光栅(CSG)特性,特别针对平面镀膜减反后的情况进行了详细的讨论.模拟计算结果表明,与......
根据惯性约束聚变系统技术要求,提出一种镀膜减反方案,以解决现有光栅由于元件表面反射影响衍射效率的问题.对色分离光栅镀膜减反......
由于数字像素全息图的光栅像素尺寸小、所含空间频率高，因此，系统对连续变空频机械结构设计、光刻稳定性、能量利用率等方面都必须综......
