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本文研究了采用钛/石墨复合靶和钛/甲烷/氮气真空电弧沉积法,利用Bulat-6多弧离子镀膜机在不同的工艺参数下制备了TiN/CNx复合薄膜......
尽管理论上已经预言β-C3N4硬度有可能超过金刚石，但至今为止人们仍未合成硬度超过金刚石的β-C3N4，主要原因是沉积物中多为非晶CNx......
钇系高温超导体替代了铋系高温超导发展为第二代高温超导带材，其具有广阔的应用前景和巨大的开发潜力。采用低成本的化学法制备出高......
本文利用超高真空离子束辅助沉积技术在Si(100)基底上设计合成ZrN/TiAlN和CN_x/TiAlN纳米多层膜。利用表面轮廓仪和纳米力学测试系......
研究了碳在铀表面注入、梯度注入、反冲注入及离子束辅助沉积改性工艺。采用俄歇电子谱仪（AES）分析碳改性层沿深度方向的成分分布；采......
