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DMD用于数字光刻成像研究
本文研究一种可制作微光学元件的DMD数字掩模光刻技术,应用数字化DMD显示器件建立数字光刻实验装置。根据DMD的周期结构的特点并考......
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信息时代对器件的微型化、轻量化、集成化的迫切需求,极大地推动了微细加工技术的发展,以微光学、微电子、微机械为基础的MEMS和MOEM......
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