数字光刻技术相关论文
介绍光刻技术分类及工作原理，国际国内光刻设备研究动态，国际国内差距，分析存在问题；讨论光刻设备涉及的关键技术：紫外和深紫外投影......
随着微结构光学的发展，微结构光学器件正向微型化、阵列化、集成化方向发展。微细加工技术的不断提高和改进，器件尺寸也越来越小，为微......
本文研究一种可制作微光学元件的DMD数字掩模光刻技术，应用数字化DMD显示器件建立数字光刻实验装置。根据DMD的周期结构的特点并考......
本文提出采用DMD数字光刻技术制作光纤端面微光学器件,基于DMD数字光刻系统,建立了用于制作光纤端面微光学器件的双光源DMD数字光......
光刻技术作为半导体加工领域的核心技术之一,它经历了接近/接触光刻、投影光刻、步进光刻到扫描光刻的发展历程,然而如何降低光学......
随着数字光刻技术的快速发展,基于数字微镜器件(DMD)的光刻技术受到微纳加工及相关行业人员的广泛关注。为实现基于0.9WQXGA型DMD......
光栅是光学研究中一种常见的光学元件,在光学测量、光信息处理、光学传感、光通信、光互连等领域中已被广泛使用。由于受到环境的......
近年来，以微光学、微电子、微机械为基础的MEMS和MOEMS技术迅猛发展，推动了微细加工技术的不断改进和提高，已在航空航天、光纤通信、......
基于空间光调制器（SLM）数字光刻技术可用于IC掩模制作或直接作为微结构的加工工具，但用数字投影光刻系统加工某些结构的二元图形时，往......
