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重掺直拉硅相关论文
重掺直拉硅对重金属Cr的内吸杂能力
研究了重掺硼(HB)、重掺砷(HAs)以及重掺锑(HSb)直拉(CZ)硅片对重金属Cr的内吸杂能力,将不同程度(~10^12cm^-2,~10^14cm^-2)沾污Cr的硅......
期刊
重掺直拉硅
氧沉淀
内吸杂
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