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采用金属有机物化学气相沉积法在c面蓝宝石衬底上生长了高质量的β-Ga2O3薄膜,并将样品分别在真空、氧气、氮气氛围下退火30 min,......

MOCVD金属有机物化学气相沉积法制备LED外延技术产生的尾气危害较大,需要进行处理才能排放。对现有的几种尾气处理技术进行分析,指......

MOCVD金属有机物化学气相沉积法制备LED外延技术产生的尾气危害较大,需要进行处理才能排放.本文对现有的化学法、物理法和生物法几......

GaAs/AlGaAs量子阱红外探测器（Quantum Well Infrared Photodetectors，QWIP）是先进薄膜生长技术与微电子学相结合的新型红外探测器。......