静电驱动器相关论文
随着信息时代的到来,为保护芯片中的信息安全以及防止芯片自身所携带的高新技术不被他人再利用或再研发,可自毁电子器件已经成为了......
以加速度计为代表的MEMS传感器是应用最为广泛的MEMS器件,而MEMS电容式加速度计具有灵敏度高、体积小、功耗低和智能化等优点,在汽......
为消除静电吸引型微镜因存在静电吸合效应而导致的短路现象,基于电场的非均匀分布可以产生静电排斥力的原理,设计了一种静电排斥型......
为了克服常规静电微机械驱动器所存在的静电吸合现象，基于非均匀分布的静电场可以产生排斥力的原理，设计了一种新型的微机电系统变形......
为了满足自适应光学技术更广泛的应用需求,针对传统变形镜体积大、成本高的问题,本文研制了基于微机电系统技术的MEMS变形镜并进行......
变形反射镜是自适应光学系统的核心器件,其性能和表现决定了自适应光学系统的性能,因而是自适应光学领域的重要研究方向。基于静电......
将静电梳齿微驱动器与三族氮化物光栅集成,获得了利用静电梳齿微驱动器调节光栅周期的硅基三族氮化物光栅。首先,以硅基三族氮化物......
本文从静电微反射镜结构、驱动方式、加工工艺等方面对目前静电微反射镜的原理和实现方法进行总结,分别讨论了它们的功能特点和应......
太赫兹滤波器可以滤除不需要的频率和噪声,以提高太赫兹系统的性能。超材料是一种具有特殊电磁响应特性的人工复合材料或结构。目......
