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非平衡生长相关论文
Si上Si1-x-yGexCy三元合金薄膜的生长
研究了Si衬底上SiGeC合金薄膜的生长.以C2H4为C源、采用快速加热超低压化学气相淀积(RTP/VLP-CVD)的非平衡生长技术,在Si(100)衬底......
期刊
快速加热超低压化学气相淀积
非平衡生长
代位式
不稳定液体基底上溅射金属Ag薄膜的非平衡生长
本文研究了不稳定液体基底上溅射金属薄膜的非平衡生长现象.实验发现:此类薄膜的生长速率不再是常数,与基底温度、表面覆盖率密切......
期刊
分形几何
非平衡生长
不稳定液体基底
溅射
金属薄膜
AG
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生长速率
表面形貌
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