微光学元件相关论文
面向光学传感器微型化需求，针对传统光学元件体积偏大和不易集成等问题，探索了使用SU—8光刻胶制备聚合物微型透镜等光学元件的全套......
微光学元件是推动光学系统走向微型化、集成化、智能化的重要动力。目前,它的发展主要面临着两方面的挑战。一方面,元件的制备与集......
设计了一种用于产生多轴非对称结构光束的新型多轴非对称指数型锥器件,器件由非对称结构和多轴结构复合而成。利用理论计算、数值......
从生物化学和蛋白质的裂解机制出发,提出一种新的重铬酸盐明胶(DCG)浮雕形成方法――化学裂解刻蚀法。由于化学裂解试剂较胰蛋白酶......
提出了一种测量微光学元件的折射率分布及面形的方法。该方法基于双波长数字全息术，将微光学元件浸入折射率匹配液降低通过微光学元......
韩国光导元器件技术的现状１．引论自１９７０年康宁玻璃公司实现２０ｄＢ／ｋｍ光纤损耗以来，光纤技术和相关的光子学取得重大进展［１］。低损耗光纤的出现在实施高......
高光束质量、高功率的光纤耦合半导体激光器在工业加工领域具有广泛的应用需求.本文采用微光学元件对19个发光单元的标准cm-ba......
针对晶体材料几何相位元件加工难、精度低、效果差等问题,提出了利用飞秒激光诱导纳米条纹技术来实现材料内部几何相位衍射元件的......
利用聚合物SU-8光刻胶在激光作用下折射率会发生变化的特点,将其作为最后的光学材料,采用光刻胶热熔法和图形转移法,设计并制作了......
随着光电子技术的迅速发展，以及光、机、电一体化的发展趋势，对光学系统及其元器件提出了微型化、阵列化与集成化的应用要求。微光学......
随着微光学技术的不断发展和成熟,微光学元件(MOE)制作工艺已经成为其应用领域拓展的重要技术瓶颈之一。纳米压印技术作为MOE新兴......
刀口检测具有设备简单、成本低、检验精度高、非接触性测量无损伤、速度快等优点，但由于传统的刀口检测只能定性，不能定量的缺点，多年......
微光学元件以其效率高、体积小、重量轻、易于复制、可以实现多种变换功能等优点在现代科技中有着越来越广泛的应用。为拓展微光学......
电子学缩小了这个世界,而通讯系统正利用光纤并行传输越来越多的数据,信息传输越来越快,使世界继续变得越来越小。这些应用中要求......
学位
电子学正继续缩小着这个世界 ,无线电通讯系统正在利用光纤并行传输越来越多的数据 ,使世界正一天天变得越来越小 ,信息传输越来越......
建立了抗蚀剂表面曝光量分布与抗蚀剂内部PAC浓度分布之间的关系,通过分析抗蚀剂内部PAC浓度分布特 点,发现了抗蚀剂显影过程中的......
制作连续微透镜列阵中主要的问题就是浮雕的深度和浮雕面形的控制 ,已有的微透镜列阵制作方法不能很好地解决 ;本文提出了一种利用......
在中国古代的道家典籍《庄子》里,有一则颇值得玩味的故事:蜗牛的两根触角上,各有一个小国家.它们常年征战不休,仿佛两根蜗牛触角......
分析了连续表面微透镜阵列的几何参量和光学性能的检测方法,介绍了最新的ISO14480系列标准.针对典型的微镜阵列元件,给出其详细结......
研究了不同于台阶形式的具有连续浮雕结构的衍射聚光透镜的激光直写工艺。简要描述了光致抗蚀剂的曝光和显影,对激光直写工艺的机......
提出一种基于改变灰阶编码掩模的单元形状和位置的掩模设计新方法 ,并根据成像过程中的非线性因素 ,用这种方法对掩模图形进行了预......
提出一种以重铬酸铵明胶作为记录材料，用编码灰阶掩模曝光，蛋白酶溶液作为显影剂制作折射型微透镜阵列的新方法。给出了具体实验结果......
掩模移动技术是一种通过移动掩模调制曝光量的连续面形微光学制作技术,其工作的局限性在于该技术对所制元件的对称性要求高,因此限......
介绍一种利用表面张力的作用、以光纤作材料、用分离的自聚焦透镜制作微透镜阵列的方法,这种方法具有制作工艺简单、无须昂贵设备......
提出一种利用蛋白酶溶液刻蚀重铬酸铵明胶制作微光学元件的新方法。这种方法具有制作工艺简单、无需昂贵设备等优点，用此方法实际制......
1引言在20世纪80年代，随着美国借助半导体集成电路制造技术研制成功微米级的硅微型静电电机而形成了微机械领域。这期间德国卡尔斯......
建立了连续深浮雕微透镜列阵光刻工艺的数学模型,通过计算机仿真实现了对工艺过程的模拟分析.为刻蚀过程中各参量的选取和刻蚀结果......
利用正交实验法研究相关因素对ORMOSILS（有机改性硅酸盐材料)薄膜成膜性的影响，并通过调整陈化时间以优化复制工艺。与光敏胶微光学......
通过溶胶-凝胶方法，利用有机硅烷（GLYMO）和正硅酸乙酯（TEOS）复合，制备出有机改性硅酸盐材料（ORMOSILS）。该材料适合复制微光学元件，凝胶网络......
利用电感耦合等离子(ICP)刻蚀技术,在石英上刻蚀深连续面形微光学元件.分析了影响深刻蚀工艺的烘焙条件、气体组分、自偏压和刻蚀......
介绍了制作微光学元件灰度掩模的两种方案,它们分别使用TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显示器)和DMD(数字微镜器件)两种电寻址空间光调制......
一、微光机电系统在民用领域的应用研究MOEMS在光通信、数字图像获取、显示与处理、IT外围设备、环境保护、自动化生物医疗装备、......
基于宽带光源微光学元件(如集成导光板)在衍射色散方面的设计需求,本文构建了宽带光源微光学元件衍射理论分析模型,探讨分析了衍射......
根据菲涅耳衍射理论,采用微光学制作技术通过3次套刻,将8位相台阶的菲涅耳波带片和平面光栅组合制作在同一块基片上,构成同时具有......
采用微透镜阵列组成的快、慢轴准直器件进行高功率面阵半导体激光器阵列光束准直,从而减小其光参数积,进一步采用棱镜阵列对准直光......
用Spearman相关度分析法研究了3环带纯相位光瞳滤波器的加工质量与超分辨性能之间的显著度关系,并比较了不同环带光瞳滤波器的偏心......
在对材料光刻阈值特性进行研究的基础上,提出了一种可有效克服材料非线性特性影响,提高微透镜浮雕深度的新方法--基底曝光法.在曝......
根据菲涅耳衍射理论,采用微光学元件制作技术,通过三次套刻制作出八位相台阶的二元离轴菲涅耳透镜。这种微型光学元件同时具有色散......
本论文是关于高支化碱溶性感光聚合物的合成及其抗蚀剂在连续深浮雕微光学元件加工中的应用研究。设计了用偏苯三酸酐（TA），环氧氯丙烷......
随着微光学元件在现代通讯、军事应用、空间技术、超精加工、信息处理、生物医学及娱乐消费等众多领域中的广泛应用,与微光学领域......
自然界中昆虫的复眼,例如苍蝇的眼睛,是天然存在的多孔径曲面光学探测系统,也是天然存在的实时图像分析和处理系统,具有视场大、重......
随着制造业向微型化发展的趋势,微小型系统、精密装备仪器装置、微小型结构件等的需求日益迫切,对相应的加工技术提出了更高的要求......
随着现代科学技术的飞速发展,体积小型化、模块集成化、功能多样化、性能稳定化与功耗低量化几乎成为所有仪器设备和功能器件的发......
近年来,硅、蓝宝石、金刚石等硬质材料的复杂三维微纳结构在微电子、微光学、微机电系统、生物传感等领域获得越来越广泛的关注。......
飞秒激光双光子聚合技术是一种简单、高精度、真三维的微纳加工技术,可以用来制备各种复杂的三维微纳结构和功能性器件。利用该技......
工艺简单、用途广泛、能批量加工复杂三维微/纳结构的加工技术一直是微/纳加工领域的研究热点。近来,利用电化学手段进行三维微/纳......
