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采用蒙特卡罗(Monte Carlo)方法,研究了脉冲激光烧蚀沉积纳米硅(Si)晶薄膜过程中,靶衬间距对传输中溅射粒子密度和速度分布的影响......
本工作首先假定烧蚀粒子与环境气体原子为刚性硬球，根据脉冲激光沉积纳米 Si薄膜的原理，采用了Monte Carlo方法，对烧蚀粒子在环境气体......
利用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上成功地制备出了掺钛氧化锌（ZnO∶Ti）透明导电薄膜。研究了靶衬间距对ZnO∶Ti薄膜结构、形貌......
以国产脉冲激光沉积设备（PLD-Ⅲ型）在玻璃衬底上沉积Ti O2薄膜为例,研究了PLD法制膜过程中靶衬间距对薄膜均匀性的影响.实验过程中,......
