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高带宽控制相关论文
压电驱动纳米定位平台的高带宽控制理论和方法研究
随着纳米科技的飞速发展,纳米定位平台的应用越来越广泛。压电驱动器因具有响应速度快、定位精度高、输出力大等优点被广泛用于驱......
学位
压电驱动平台
纳米定位
高带宽控制
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谐振振动
输入整形
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