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研制了一种高速率溅射的ECR等离子体装置。微波经过一段真空波导管，以反常波模式耦合输入共振腔，腔内溅射靶由平面靶和订状靶组成，圆......
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研制了一台高速率溅射的ＥＣＲ等离子体沉积装置．采用微波真空波导及反常模式或输入技术，利用腔内双靶构成的电场镜，使高能γ电子在电场镜中......
