【摘 要】
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太阳电池成本一直居高不下,如此一来,要使太阳电池成本降低,须提出几个方案解决,因此本研究利用液相沉积法开发抗反射薄膜制程技术,进而取代PECVD制备抗反射薄膜之技术,其目的是降低太阳电池制造成本,以达到太阳电池于生活中的普及率.本研究利用液相沉积法搭配六氟钛酸铵和硼酸于硅基板上制备二氧化钛抗反射薄膜，并应用于太阳电池上。液相沉积法为低温制程、具选择性沉积、大面积生产、薄膜成分容易调整，以及可批次量
【机 构】
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台湾中兴大学材料科学与工程学系,台湾台中40227 台湾大叶大学电机工程学系,台湾彰化51591
【出 处】
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第十二届全国硅基光电子材料及器件研讨会
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太阳电池成本一直居高不下,如此一来,要使太阳电池成本降低,须提出几个方案解决,因此本研究利用液相沉积法开发抗反射薄膜制程技术,进而取代PECVD制备抗反射薄膜之技术,其目的是降低太阳电池制造成本,以达到太阳电池于生活中的普及率.本研究利用液相沉积法搭配六氟钛酸铵和硼酸于硅基板上制备二氧化钛抗反射薄膜，并应用于太阳电池上。液相沉积法为低温制程、具选择性沉积、大面积生产、薄膜成分容易调整，以及可批次量产等优点。在最佳制程条件下，制程温度60度以及硼酸浓度0.6M下，波长范围为400～800nm下，平均反射率为5.52％，而二氧化钛抗反射薄膜应用于6时多晶硅太阳电池上，其光电转换效率可达15.93%。
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