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本文在已有的单室VHF-PECVD技术制备pin型单结微晶硅电池的基础上，将产业化低成本单室非晶硅/非晶硅叠层电池升级到单室a-Si：H/a—Si：H/μc-Si：H pin结构的三叠层电池，通过优化隧穿结和底电池，获得了光电转换效率超过9％的单室a-Si/a-Si/μc-Si pin结构的三叠层电池。