电液伺服系统是一种以电液伺服阀为核心的伺服控制系统，电液伺服系统具有很高的控制精度和较快的响应速度，同时输出功率大等特点，其在航空、航天等相关军事领域有着不可替代的地位。作为电液伺服系统的关键单元，电液伺服阀的品质对系统有决定性影响。伺服阀阀套是电液伺服阀功率放大主要元件，对伺服阀的控制精度和响应频率有重要影响，其加工工艺是伺服阀加工的关键工艺之一。目前，阀套内孔主要是采用反复加工，反复检测的方法，这种生产方法已很难满足当前我国航天工程对伺服阀的产品精度和产品数量的要求，为满足航天工程的要求，必须改进伺服阀生产工艺，改进其内孔圆柱度的检测效率和检测精度是一关键环节。因此，研究伺服阀阀套内孔圆柱度的测量技术对我国的伺服阀生产工艺水平有着重大意义，同时对我国航天工程事业也具有重要现实意义。本文首先确定采用最小二乘算法评定阀套内孔圆柱度，并针对该算法提出了基于喷嘴挡板原理的旋转气动扫描法作为气动检测的数据采集方法，对提出的气动检测方法进行误差分析，通过对多项因素分析得到最大误差项，从而提出误差采集测量方法，在以上研究基础上，建立了误差补偿的数学模型。然后，在圆柱度最小二乘评定算法和误差补偿数学模型的基础上，设计研制阀套内孔圆柱度在位测量装置硬件，包括测量执行的机械部分、信号处理的电气部分、提供气源的气路部分和控制的计算机接口，针对测量装置硬件设计并编制了相应软件，该测量软件主要用于对测量装置的测量过程进行控制，同时对采集数据进行处理和误差补偿，并计算被测阀套的内孔圆柱度误差。最后，本文利用所研制的阀套内孔圆柱度误差在位测量装置进行了相关实验，用于对测量装置进行标定，以确定系统工作参数，同时检验所研制系统的检测精度，最后还设置了相关对比实验对本文提出的误差补偿算法的补偿效果，通过以上实验验证了本文的误差补偿模型对阀套内孔圆柱度检测的有效性。