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本文是基于高校和企业合作的横向课题,以快速发展的电力行业为背景,对电力安全中起着关键作用的湿度测量仪的校准和检定进行了研究,提出设计了一种高精度的微水仪/露点仪校验系统,主要用于对电力行业的这些湿度测量的湿度仪/露点仪的校准和检定。该微水仪/露点仪校验系统是由一股干气和一股完全饱和湿气以不同流量比混合配置出不同湿度的气体对需校验检定的湿度仪/露点仪进行校验和检定。该校验系统的饱和湿气是由经过干燥的气体通过一级饱和装置-水槽和二级饱和装置-饱和气室产生的。干气和饱和湿气的流量由质量流量控制器MFC和微