能源和环保是世界的两大热点。国内外对可再生能源，尤其是太阳能利用的需求越来越强烈。随着科技的飞速发展，透明导电膜广泛应用于各种光电器件和设备，如太阳能电池，液晶显示和电镀器件等。本课题来自于2007年天津市科技发展计划项目《超声喷雾法制备大面积绒面SnO2：F薄膜的产业化研究》。　　 在各种透明导电膜中，SnO2的应用尤为引人关注。掺杂后的SnO2具有高导电率、高透射率，较好的化学和热稳定性等特点。超声喷雾热分解工艺具有低成本、高质量的优点，此方法无需真空，设备和工艺相当简单，容易实现可控掺杂和大面积生长，能够制备出质量较高的薄膜。　　 本论文对基于超声喷雾热分解工艺的大面积SnO2薄膜的制备技术进行了深入的研究，设计并实现了基于超声喷雾热分解工艺的面积达400mm×400mm的镀膜设备，从理论和实验两方面探讨和解释了影响薄膜成膜效果的成膜温度、沉积时间、F掺杂浓度、酒精含量等各种因素对薄膜性质的影响，并在国内首次重点对影响薄膜绒度的F掺杂浓度、加热温度等因素进行了探讨和研究，所制得薄膜绒度最高达12.6％。我们还将制备出的透明导电膜应用于硅薄膜太阳能电池上，证明了用超声喷雾法制备大面积二氧化锡绒面导电膜的可能性。　　 本论文所讨论的内容，对利用超声喷雾法大面积制备大面积二氧化锡绒面导电膜进行了深入的研究，对实现最终产业化的大规模生产具有重要的参考意义。