基于标准BCD工艺的单光子雪崩二极管及外围电路

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随着各种智能设备融入人们的日常生活,人们对探测器的要求也越来越高。普通光电探测器的探测情况受光强限制严重,不能探测到微弱的光子信息,为了解决这一问题,盖革模式的雪崩二极管被纳入研究,并开拓了单光子探测领域。单光子探测在医疗检测、国防军事和大众娱乐上得到了广泛的应用,然而现有的单光子探测芯片面临集成度较低、体积较大等的问题。本文在此背景下提出在标准BCD工艺下设计单光子探测器及相应的集成电路,可实现高度集成高性能的单光子探测器的单片集成。设计标准工艺下的三种单光子探测器结构:P+/Nwell结构、P+/Nwell/DNwell结构、P+/Pwell/BNwell结构。采用Silvaco器件仿真平台对这三种结构的探测器的电场分布、I-V特性、雪崩产生率和量子效率等多个性能参数进行仿真和分析,优化设计器件结构。仿真结果显示当整个探测器直径28μm、有源区长度10μm时击穿电压分别为10.2V、10.5V和22V,当过电压达到8V时三种结构的雪崩产生率均大于90%,在700nm波长附近光谱响应,600nm波长处量子效率可达到峰值,量子效率峰值约为0.65。对探测器的等效电路模型、淬灭电路以及延时等电路进行了探讨。改进APD光器件的等效电路模型,结合周围电路进行协同设计仿真,为单光子单片集成芯片提供更加可靠的设计依据。分析三种主流淬灭电路的基础上,综合设计主动淬灭电路。仿真比较了反相器延时和RC延时电路。最后将各部分电路连接组成完整的淬灭复位电路,仿真可获得死时间为2.6ns。本文使用华润上华公司的0.18 μ m BCD工艺进行流片,对流片芯片测试结果显示P+/Nwell/DNwell结构雪崩击穿电压为15.8V,P+/Nwell结构击穿电压为10.6V,在过电压为0.2V时用650nm光照射下,两款响应度分别约为0.80A/W、0.71 A/W。在单管无源测试中两款APD均能实现光子探测且在过偏压为0.2V时暗计数率分别为20KHz和60KHz。周围电路中整个淬灭复位时间约为4μs,延时电路实现延时1.5ns的设计指标。本文采用标准工艺流片有效降低单光子芯片的成本,实现探测器和相关周围电路的集成。
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