六氟化硫具有良好的绝缘性能及优异的灭弧性能,广泛应用于高压电气设备中。六氟化硫作为绝缘介质,可使设备小型化,同时具有高可靠性。充有六氟化硫气体的密闭高压设备中通常具有一定的气体压力,气体泄漏的概率较高,SF6气体泄漏将对设备的正常工作造成影响,同时威胁到工作人员的生命安全。因此,对高压设备附近SF6浓度的检测具有重要意义。通过对比常用的SF6气体浓度检测方法,本设计采用红外吸收测量方法测量SF6气体浓度,研制了一款高精度SF6传感器。红外吸收测量方法具有灵敏度高、响应速度快、受环境干扰小的优点。通过对差分检测技术的研究,提出了传感器光学系统的总体设计方案,围绕该方案对光源、探测器、滤光片等光学器件做了针对性选型,设计了双波长单光路气室结构；为缩小传感器的体积,设计了反射型光路调节机构,使所选择的光源、滤光片和探测器等光学器件有稳定的工作状态,产生较小的误差。针对光源和探测器的工作特性,设计了光源驱动电路和信号调理电路。光源驱动电路实现了光源的电调制,提高了光源工作的稳定性；选用了高精度信号放大芯片对探测器输出的微弱信号进行放大,有效抑制了低频噪声,提高了测量的精度。传感器的研制需要进行大量的实验,根据系统测试的需要,搭建了合理的实验平台。通过对数据处理方法的理论推导,结合实验数据,得出了传感器的拟合曲线。通过温度实验,研究了温度对传感器测量的影响,得出了测量结果随温度变化的一般规律。根据温度实验结果,设计了温度补偿算法,经实验验证,软件程序中加入温度补偿算法后,有效消除了温度对测量的影响；进行了重复性实验,并研究了传感器测试性能随时间的变化关系。结合实验结果,本文最后给出了SF6传感器的部分性能指标,量程为0——1000ppm,测试精度为满量程的2%,研制出的传感器具有工作稳定性高,响应速度快,受测量环境影响小的特点。