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作为MEMS技术的一个重要应用领域,MEMS陀螺以其低成本、体积小、可靠性高、功耗低等优点,已广泛应用于汽车、电子以及航空航天等各个领域,是各国关注的重点研究技术之一。鉴于上述背景,本文设计了一种抗过载、高灵敏度、100Hz带宽的角振动陀螺结构,理论分析了该结构的驱动力矩和科氏力矩,建立了陀螺两工作模态的动力学方程,得到了机械灵敏度、带宽的解析表达式。分析了陀螺两工作模态的气体阻尼,并从热弹性损耗的角度分析了硅基谐振陀螺高Q值的实现方式。其次,基于ANSYS有限元仿真分析技术,完成了陀螺的模态分析、