本文基于过程视角,把科技创新驱动产业升级复杂系统过程分解为科技研发、技术转化、产业发展三个阶段,构建科技创新驱动产业升级概念模型,提出扩展的DEA评价方法。并以中国30个省级区域的统计数据为样本,运用考虑非期望产出的超效率SBM模型、从过程视角考查评价省域科技创新驱动产业升级的绩效水平,分析其空间差异变化特征。结果显示,目前中国科技创新驱动产业升级绩效水平总体不高,各地区发展不平衡,东部优于中、西部。科技创新驱动产业升级效率与地区创新能力、经济发展水平基本一致,各地区各阶段的效率仍具有较大的提升空间。本文的政策启示:一方面,制定系统性创新驱动产业升级的整体政策时,既要重视创新过程的不同阶段各自对产业升级的驱动绩效特征,又要从整体上把握和协调不同创新阶段之间的联动关系;另一方面,根据地区创新环境异质性特征,制定区域差异化创新驱动策略。