直流磁控溅射法制备单一相高质量β-FeSi2薄膜

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报道了在单晶Si(100)衬底上,采用室温直流磁控溅射Fe—Si组合靶的方法,并经过后续气氛退火来制备β-FeSi2薄膜的结果。主要研究了退火时间、退火温度等实验条件对样品结构特性、光学特性和电学特性的影响,制备出了单一相高质量的肛nsi薄膜。霍尔测试表明未掺杂薄膜是P型导电的,载流子浓度5.747×10^16cm^-3,空穴迁移率168cm^2/Vs。由反射一透射法得到薄膜的禁带宽度为0.879eV,吸收系数在光子能量为1.0eV时达到了1.42×10^5cm^-1。基于以上优异的光
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