一个DC-32GHz两位微机械移相器

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：alonsoyl

【摘要】

：

采用分布式微机械传输线结构实现了两位移相器，并且为了减小传输线负载电容和驱动电压首次提出了用共面波导传输线来驱动微机械桥的结构(共面波导驱动结构)．结果显示驱动电压小

【作者】

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娄建忠赵正平杨瑞霞吕苗胡小东

【机构】

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河北大学电子信息工程学院,河北工业大学信息学院,河北半导体研究所微米纳米中心

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

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2004年11期

【关键词】

：

微电子机械系统移相器共面波导驱动结构 MEMSphase shifterCPW-actuation structure

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采用分布式微机械传输线结构实现了两位移相器，并且为了减小传输线负载电容和驱动电压首次提出了用共面波导传输线来驱动微机械桥的结构(共面波导驱动结构)．结果显示驱动电压小于20V，20GHz时两位移相器的相移为0°／20．1°／41．9°／68.2°，插入损耗为1．2dB．在DC到32GHz的范围内相移具有良好的线性，插入损耗小于-1．8dB，反射损耗好于11dB．实验结果表明了该结构在高介电常数衬底上制造低插损、宽带数字微机械射频移相器的潜力．

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